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以芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间为代表的电子无尘车间、洁净室（区）除了对微粒的严格控制外，还对温湿度的控制、照度（甚至光源要求）微震等要求更严格，消除静电对生产产品的影响，从而使环境达到电子产品在洁净环境的生产工艺要求。

无尘车间（区）的温、湿度应根据生产工艺要求确定当生产工艺无具体要求时，其温度可按20~26℃，相对湿度30%~70%采用。人员净化用室和生活用室的温度可按16~28℃采用。根据与国际ISO标注接轨的中国国家标准GB-50073，这类洁净室（区）的洁净度等级1-9级，其中1-5级，气流流型为单向流或混合流，风速0.2-0.45m/s；6级气流流型为非单向流，换气次数50-60次/h；7级气流流型为非单向流，换气次数15-25次/h；8-9级气流流型为非单向流，换气次数10-15次/h。